四氯化硅的物理性质

四氯化硅的物理性质四氯化硅（化学式：SiCl4）是一种无色、有毒、易挥发的液体，常用于半导体工业中作为化学气相沉积（CVD）的源材料。以下是对四氯化硅物理性质的详细介绍...